TOPCON类电池背面Poly激光减薄
激光束辐照到PSG表面,透射到Poly层,Poly层表面吸收光子的能量转化为热量,导致Poly层表面受热膨胀,膨胀产生的作用力,破坏了PSG的结构,使PSG的致密性显著降低。由于激光后PSG结构被破坏,碱洗可以去除改质后的PSG。
激光选择性地在非金属区域的PSG作用后,通过控制碱洗的时间,可以依次去除掉非栅线区域的PSG、Poly和SiO₂,并腐蚀至硅基底1~4μm。金属区的Poly得到保留,形成Poly-Finger结构,电池端形成0.15%的效率增益,组件端主要体现在双面率的提升。
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