设备简介激光束辐照到PSG表面，透射到Poly层，Poly层表面吸收光子的能量转化为热量，导致Poly层表面受热膨胀，膨胀产生的作用力，破坏了PSG的结构，使PSG的致密性显著降低。由于激光后PSG结构被破坏，碱洗可以去除改质后的PSG。
激光选择性地在非金属区域的PSG作用后，通过控制碱洗的时间，可以依次去除掉非栅线区域的PSG、Poly和SiO₂，并腐蚀至硅基底1~4μm。金属区的Poly得到保留，形成Poly-Finger结构，电池端形成0.15%的效率增益，组件端主要体现在双面率的提升。
