钙钛矿P1/P4激光刻蚀清边一体机不仅能满足 P1 的激光刻蚀划线 ：去除 TCO 层，刻蚀后 P1 两侧的电阻大于 20MΩ，刻蚀线槽内无 TCO 材料残留，不伤及玻璃基底 ；同时还能满足 P4 激光清边 ：去除基底上方所有的膜层，不伤及基底。
规格参数
红外/绿光/紫外纳秒、皮秒激光器
20-1000W 可选
20-100μm（可定制 500μm 或 1000μm）
600mm*600mm（可定制尺寸）
＜ 5μm/m
±5μm
±2μm
方形光斑或圆形光斑
20-100μm 可调
1900*1500*2500mm
